Что такое вакуумный затвор?

Что такое вакуумный затвор?

Вакуумный затвор — это элемент клапана, который разделяет две или более вакуумных камер или вакуумную камеру и атмосферную среду. Они в основном встречаются в вакуумных установках и на предприятиях по производству полупроводников. Существуют различные типы затворов, такие как открытые/закрытые типы, двигатели открытия/закрытия и конструкции клапанных затворов.

Выбор основан на таких факторах, как разница давления на заглушке клапана, скорость открытия/закрытия, уровень пыли и грязи, образующихся при открытии и закрытии, термостойкость, химическая стойкость и т. д. От небольших изделий диаметром в несколько десятков миллиметров до оборудования для производства плоских дисплеев и больших клапанов шириной в несколько метров.

Применение вакуумных задвижек

Вакуумные задвижки используются для разделения нескольких вакуумных камер или для отделения вакуумной камеры от атмосферы. В этом случае вакуумные задвижки используются для передачи материалов в другую вакуумную камеру с постоянным поддержанием вакуума в одной вакуумной камере.

В этом случае вакуумная камера всегда находится в состоянии вакуума, в то время как обрабатываемые материалы передаются в другую вакуумную камеру, а вакуумная камера отделена от атмосферы. Клапан также используется для управления расходом газа, выходящего из вакуумной камеры, путем регулировки скорости открытия клапана.

При использовании в качестве клапана управления потоком используется клапан типа бабочка с высокой скоростью открытия/закрытия.

Принцип работы вакуумных задвижек

Существует множество разновидностей вакуумного запорного клапана, в зависимости от заглушки клапана и конструкции открытия/закрытия.

Заглушка клапана имеет герметичную вакуумную камеру. Заглушка клапана оснащена уплотнительным кольцом и уплотнительным материалом для поддержания герметичности вакуумной камеры, а некоторые изделия имеют встроенный нагреватель для поддержания той же температуры, что и вакуумная камера, которая контролируется при высоких температурах.

• Подъемный запорный клапан
  Это наиболее распространенный тип задвижки, которая открывается и закрывается путем перемещения заглушки клапана вверх и вниз. Меньшие типы делаются герметичными одним действием подъема, в то время как большие типы часто требуют двух действий подъема и последующего нажатия вниз.
  Поскольку обе стороны заглушки клапана создают вакуум, корпус также имеет уплотнительное кольцо или другую герметичную конструкцию. Заглушки клапана доступны в квадратной и круглой форме.
• Дверной клапан
  Клапан, который разделяет сторону атмосферы и вакуумную камеру, называется дверным клапаном. Он похож на подъемный задвижку, но поскольку одна сторона находится под атмосферным давлением, у него нет корпуса, а диск клапана прижимается к вакуумной камере, чтобы сделать его герметичным.
• Задвижка маятникового типа
  Этот тип клапана имеет круглую заглушку клапана, которая открывается и закрывается, двигаясь как маятник. Он отличается компактностью и имеет преимущество в виде низкого выброса пыли за счет небольшого количества скользящих частей.