Что такое термодесорбционный анализатор?

Что такое анализатор термодесорбции?

Система анализатор термодесорбции обнаруживает водород, десорбированный с поверхности образца при его нагревании. Эта система предоставляет информацию о количестве водорода, присутствующего в образце, и механизме адсорбции и десорбции водорода. Система в основном состоит из вакуумной камеры, механизма нагрева образца, вытяжной системы и квадрупольного масс-спектрометра.

Одной из областей применения являются полупроводниковые приборы. В этой области водород считается самой сложной для контроля примесью, и его влияние на производительность устройства до сих пор игнорировалось из-за сложности обнаружения.

Однако в последнее время важность примесного водорода начала осознаваться, поскольку сообщалось, что он является причиной нестабильности в работе тонкопленочных транзисторов и непреднамеренного легирования носителей заряда.

Высокочувствительное обнаружение водорода требуется для дальнейшего улучшения качества устройств и разработки устройств следующего поколения, и анализатор термической десорбции может удовлетворить эту потребность.

Анализатор десорбции/десорбции водорода имеет преимущества перед другими методами с точки зрения низкой стоимости и простой конфигурации прибора. Другие приложения включают современные тонкопленочные материалы, такие как графен.