Что такое сухой вакуумный насос?

Что такое сухой вакуумный насос?

Сухие вакуумные насосы — это общее название для различных сухих вакуумных насосов, которые создают вакуум без использования масла или других жидкостей.

Сухие вакуумные насосы используются в отличие от мокрых насосов, которые используют масло или другие жидкости для создания вакуума. Существует несколько типов сухих насосов с различными механизмами, включая насосы Рутса, спиральные насосы, кулачковые насосы и мембранные насосы.

В отличие от роторных насосов, эти насосы не выделяют масляный туман, что делает их пригодными для использования в чистых условиях.

Применение сухих вакуумных насосов

Основные области применения сухих вакуумных насосов включают линии по производству полупроводников, линии по переработке пищевых продуктов и различное научное аналитическое оборудование, такое как электронные микроскопы. В этих областях применения необходимо избегать загрязнения рабочей среды. Сухие вакуумные насосы подходят для областей применения, требующих чистой среды, поскольку их главная особенность заключается в том, что в выхлопе нет масляного тумана или других загрязняющих веществ.

Однако сухие вакуумные насосы достигают вакуума около 1 Па, что не очень много. Когда требуется высокий вакуум, они используются в сочетании с турбомолекулярными насосами или ионными насосами. Скорость откачки различается в зависимости от типа, поэтому необходимо выбирать подходящий тип в соответствии со способом использования.

Принцип работы сухих вакуумных насосов

Сухие вакуумные насосы доступны в различных методах, но многие из них классифицируются как газотранспортные насосы. Все газотранспортные насосы имеют впускное отверстие для забора газа и выпускное отверстие для выпуска газа, а газ внутри насоса выпускается путем забора газа через впускное отверстие и выпуска его через выпускное отверстие.

Этот механизм уменьшает количество газа в пространстве и создает вакуум путем транспортировки различных газов. В отличие от сухих вакуумных насосов, мокрые вакуумные насосы используют гидравлическую жидкость или гидравлическое масло для полной герметизации внутренней части сухого вакуумного насоса при транспортировке газов.

Помимо герметизации, гидравлическая жидкость уменьшает износ и трение между деталями, поглощает тепло сжатия и предотвращает ржавление деталей насоса.

Типы сухих вакуумных насосов

Сухие вакуумные насосы доступны в различных конструкциях для транспортировки газов. Основным типом сухих вакуумных насосов является насос с положительным вытеснением, из которых роторный тип является наиболее распространенным.

1. Лопастной насос

Лопастной насос — это насос, в котором цилиндр с несколькими внутренними лопастями внутри круглого пространства вращается в движении, которое втягивает воздух внутрь пространства с лопастями. Центробежная сила, создаваемая в лопастях, заставляет кончики лопастей соприкасаться со стенками круглого пространства, образуя герметичное пространство.

2. Кулачковый насос

Кулачковый насос состоит из двух роторов в форме когтя, называемых когтями, расположенных рядом. Газ выпускается когтями, вращаясь в противоположных направлениях. Газ сжимается и выпускается за пределы насоса.

3. Многоступенчатый насос Рутса

Многоступенчатый насос Рутса — это еще один насос, в котором пара противоположно вращающихся роторов выбрасывает всасываемый газ за пределы насоса. Ротор имеет лопасти с поперечным сечением в форме кокона.

4. Спиральный насос

Спиральный насос перекачивает газ, в то время как закрученная спираль вращается внутри неподвижной спирали с той же стенкой в ​​форме спирали.

5. Винтовой насос

Винтовой насос состоит из одного-трех винтов и корпуса, в котором размещены винты. По мере вращения винтов газ проталкивается через корпус и выпускается.

Помимо вышеупомянутого роторного типа, сухие вакуумные насосы объемного типа также включают насосы возвратно-поступательного типа. Возвратно-поступательные части включают диафрагму, поршень и сильфоны.

Характеристики сухих вакуумных насосов

В сухих вакуумных насосах нет гидравлического масла на пути, по которому проходит газ. Нет риска смешивания масляного тумана с выхлопным газом или испарения и диффузии масла в вакуумный сосуд. Возможность получения чистого выхлопного газа и вакуумного пространства является основной особенностью сухих вакуумных насосов.

Другим важным преимуществом является то, что они не требуют обслуживания, такого как периодическая замена или пополнение масла. Другие особенности сухих вакуумных насосов включают компактность, малый вес, низкую вибрацию и низкий уровень шума.