Что такое система ALD?

Что такое система ALD?

Система ALD — это технология, которая создает тонкие пленки в наномасштабе с помощью метода атомно-слоевого осаждения. Известная своим точным контролем толщины пленки и плотным, пошаговым покрытием пленки, система ALD может быть медленной по скорости осаждения. Она часто использует металлоорганические материалы, которые могут быть вредными и легковоспламеняющимися, что требует осторожного обращения и специальных знаний.

Применение систем ALD

Системы ALD являются неотъемлемой частью производства полупроводников и плоских дисплеев (FPD), особенно в производстве DRAM. Области применения включают:

• Оксидные пленки затвора для транзисторов.
• Барьерные пленки для предотвращения загрязнения металлом и ухудшения изоляции.
• Антипроникающие пленки для OLED-панелей и других применений.

Они также используются в биомедицинской промышленности для покрытия искусственных суставов и костей, а также в системах доставки лекарств.

Принцип работы устройств ALD

Система ALD обычно состоит из вакуумной камеры, частей подачи и отвода материального газа и блока управления. Процесс включает введение прекурсора в камеру, адсорбцию его на подложке, а затем окисление или азотирование для формирования тонкой пленки. Этот цикл повторяется для осаждения нескольких атомных слоев. Эффективная продувка имеет решающее значение для предотвращения ухудшения качества пленки из-за остаточных прекурсоров или источников окисления. Термический ALD и плазменный ALD — это два метода повышения эффективности осаждения.

Другая информация о системах ALD

1. Разница между ALD, CVD и PVD

Хотя ALD похож на CVD, ключевое отличие заключается в способности ALD осаждать пленки по одному слою за раз. PVD, с другой стороны, физически осаждает частицы материала. По сравнению с CVD и PVD, ALD превосходит осаждение пленок на узких и глубоких структурах, особенно эффективно при покрытии объектов со множеством мелких пор.

2. Глобальный рынок систем ALD

Ожидается, что к 2028 году глобальный рынок ALD достигнет 6,5 млрд долларов. Хотя в настоящее время CVD доминирует на рынке осаждения тонких пленок, ALD играет жизненно важную роль в производстве полупроводников благодаря своим превосходным возможностям осаждения и, как ожидается, будет продолжать приобретать все большее значение.