Что такое резистивный коатер?

Что такое резист-коатер?

Резис-коатер — это устройство, используемое для нанесения резистного материала на поверхность целевого объекта, например, подложки. Резистный материал — это электронный материал, состоящий из смолы, чувствительной к свету.

Резистивные покрытия можно разделить на центрифугирующие и распылительные в зависимости от метода нанесения покрытия. Первые, центрифугирующие, используются для резистивного покрытия. Центрифугирующие покрытия способны наносить пленки толщиной от одного до нескольких десятков микрон и подходят для покрытия плоских поверхностей.

Распылительные покрытия используются для покрытия трехмерных объектов с волнистыми поверхностями.

Применение резистивных покрытий

Резистивные материалы, наносимые резистивными покрытиями, используются при обработке полупроводников. Поэтому резистивные покрытия часто включаются в процесс производства полупроводников.

Резистивные материалы используются в качестве фотошаблонов в лазерной обработке. Хотя резистивные материалы можно наносить вручную, трудно добиться равномерного давления пленки и других однородностей. Если есть области, где покрытие не нанесено, или если толщина недостаточна или неравномерна, последующая обработка не может быть выполнена должным образом, и качество продукта будет различаться.

Равномерное нанесение резистивного материала резистивным покрытием очень важно с точки зрения контроля качества.

Принцип резистивных покрытий

Как упоминалось выше, центробежные коутеры и распылительные коутеры являются наиболее распространенными устройствами для нанесения резиста. Центробежные коутеры и распылительные коутеры различаются по методам нанесения покрытия.

Центробежный коутеры

Центробежный коутеры используют центробежную силу для нанесения покрытия. После того, как капля резистного материала помещается на покрываемый объект, объект вращается с высокой скоростью. Центробежная сила, создаваемая этим вращением, позволяет резистному материалу распространяться по всем углам объекта.

При использовании центробежного коутера распределение резистного материала может останавливаться на волнообразных поверхностях, что затрудняет нанесение резистного материала на объекты с сильно волнистыми поверхностями. В таких случаях можно использовать распылительный коутер.

Распылительный коутер

Распылительный коутер — это устройство, которое использует метод распылительного распыления. Резистный материал наносится путем распыления. Механизм обеспечения равномерного нанесения варьируется от устройства к устройству. Некоторые устройства перемещают распылительную насадку для нанесения покрытия на каждую деталь, в то время как другие вращают покрываемый объект, удерживая распылительную насадку неподвижно.