Что такое плазменный очиститель?

Что такое плазменный очиститель?

Плазменные очистители — это устройства, которые используют плазму для очистки поверхностей объектов. В этом процессе плазма взаимодействует с веществами на поверхности объекта, заставляя его подвергаться химическому преобразованию, эффективно очищая поверхность.

Плазменные очистители находят важное применение в различных отраслях промышленности, особенно в полупроводниковой промышленности, где они используются для удаления резиста и остатков резиста с пластин. Кроме того, плазменные очистители используются в процессах сборки ИС для очистки и улучшения соединения проводов.

Применение плазменных очистителей

Как упоминалось ранее, полупроводниковая промышленность в значительной степени полагается на плазменные очистители для удаления органических веществ, таких как резист, с пластин. Однако их полезность распространяется на широкий спектр других отраслей, включая:

• Сборка ИС: Повышение прочности связи электродов подложки и многое другое.
• Связанные с материалами: Предварительная обработка покрытий из полимерных материалов, среди прочего.
• Связанные с мехатроникой: Очистка автомобильных деталей и связанных с ними компонентов.
• Связанные с FPD: Повышение прочности связи ЖК-панелей, среди прочего.
• Инженерное дело: Склеивание линз и предварительная обработка покрытий.

Принцип работы плазменных очистителей

Плазменные очистители работают путем нанесения плазмы на поверхность объекта. Плазма — это высокоэнергетическое состояние вещества, в котором молекулы распадаются на катионы и электроны.

Выбор плазменного материала зависит от типа процесса очистки и удаляемых веществ. Обычные плазменные материалы включают кислород, аргон и хлорфторуглероды.

Например, при удалении органических веществ с поверхности плазменные очистители используют кислородную плазму, которая является высокореактивной. Эта реактивная плазма преобразует органические вещества на поверхности материала в воду и углекислый газ, эффективно очищая поверхность объекта.

Аналогично, если целью является удаление субоксида меди с медной поверхности, можно использовать аргоновую плазму. Аргоновая плазма вступает в реакцию с субоксидом меди, превращая его в пероксид меди, который затем можно очистить с поверхности.