Что такое оборудование для осаждения?

Что такое оборудование для осаждения?

Оборудование для осаждения, как следует из названия, — это оборудование, используемое для создания пленок.

Были разработаны различные типы оборудования для осаждения в зависимости от толщины и чистоты тонкой пленки, а также от того, является ли она органической или неорганической. Например, оборудование для осаждения в высоком вакууме используется, когда требуется высокочистая и однородная пленка, например, для материалов, связанных с полупроводниками.

С другой стороны, для таких продуктов, как пленки, которые требуют массового производства на большой площади, выбираются методы «рулон-в-рулон» или пакетные методы. Оборудование для центрифугирования и струйного осаждения также используется для осаждения путем сушки раствора после его нанесения.

Важно выбрать подходящий тип оборудования для осаждения в соответствии с применением и условиями. Этот выбор позволит разрабатывать более эффективные и качественные продукты.

Использование оборудования для осаждения

Оборудование для осаждения высокочистых оксидов металлов подходит для осаждения высокочистых, тонких, однородных оксидов металлов для полупроводниковых деталей и т. д. Используется высоковакуумное оборудование для осаждения. Это же оборудование может также использоваться для осаждения тонких металлических отражающих пленок на поверхности автомобильных фар, объективов камер и т. д., которые подавляют отражение света.

С другой стороны, рулонное или пакетное оборудование для осаждения подходит для продуктов, требующих массового производства, таких как пластиковые пленки и тонкая металлическая фольга. Эти продукты имеют толщину порядка микрометров.

Кроме того, органические полупроводниковые тонкие пленки, известные как печатная электроника, такие как органические EL-материалы, производятся с использованием оборудования для струйного осаждения.

Принцип работы оборудования для осаждения

Существует два типа оборудования для осаждения: оборудование для осаждения в высоком вакууме и оборудование для осаждения в массовом производстве, такое как методы «рулон-рулон».

1. Оборудование для осаждения в высоком вакууме

Существует два типа оборудования для осаждения в высоком вакууме: физическое осаждение из паровой фазы (PVD) и химическое осаждение из паровой фазы (CVD). При испарении материал пленки нагревается до испарения и прилипания к подложке, установленной сверху оборудования для выращивания пленки.

В методе распыления частицы, ускоренные напряжением, выбрасываются на пленочный материал, а летящие частицы прилипают к подложке, прикрепленной к верхней части оборудования, чтобы вырастить пленку. Оба метода используют условия высокого вакуума, чтобы предотвратить попадание кислорода и других веществ, содержащихся в атмосфере, в пленку, тем самым достигая высокой чистоты пленки.

2. Оборудование для осаждения для массового производства

Метод «рулон-рулон» — это метод, при котором пленка наносится на рулонную подложку во время ее вращения. Этот метод подходит для массового производства и производства пленок большой площади.

Для получения однородной пленки вязкость раствора образца должна поддерживаться в определенном диапазоне. Поскольку эта вязкость меняется в зависимости от скорости вращения и физических свойств образца, важно учитывать вязкость образца при изучении условий осаждения.

Другая информация об оборудовании для осаждения

Оборудование для осаждения и машины, используемые совместно с оборудованием для осаждения

Существует четыре типа оборудования, используемого совместно с оборудованием для осаждения: вакуумные насосы, нагреватели подложек, травильное оборудование и контрольно-измерительное оборудование.

1. Вакуумные насосы
Оборудование для осаждения требует высокого вакуума для получения высокочистой пленки. Вакуумные насосы отвечают за создание высокого вакуума путем удаления воздуха из оборудования для осаждения. Это предотвращает попадание примесей в пленку, что приводит к созданию высококачественных пленок.

2. Нагреватель подложки
Нагреватели подложки — это машины, которые регулируют температуру подложек, используемых в процессе осаждения. При нагревании подложки до температуры, подходящей для осаждения, улучшается адгезия и однородность пленки, что приводит к получению пленок более высокого качества.

3. Оборудование для травления
Травление необходимо для формирования заданной формы или рисунка на подложке после осаждения пленки. Оборудование для травления имеет возможность выборочно удалять часть пленки с помощью химикатов или плазмы. Будут сформированы тонкие схемы и т. д.

4. Оборудование для инспекции
После завершения осаждения пленки критически важным является контроль качества. Инспекционное оборудование используется для проверки толщины пленки, однородности, адгезии и других качеств. Это позволяет на ранней стадии выявлять дефектную продукцию и улучшать производственный процесс, тем самым повышая общую эффективность производства.