Что такое микроустройство?

Что такое микроустройство?

Микроустройство — это микроканал или реакционная ячейка на чипе, которая используется для химических реакций, таких как смешивание, реакция, экстракция и разделение фаз растворов.

Поскольку ширина канала составляет около микрометра, количество реагента, протекающего через него, можно поддерживать небольшим, а время реакции можно сократить. Применение технологии MEMS, описанное ниже, позволяет производить устройства в массовом порядке и использовать использованные чипы как одноразовые. Это позволяет проводить недорогие эксперименты и способствует развитию таких академических областей, как химия и биохимия.

Использование микроустройств

Микроустройства используются для проведения различных химических и биохимических экспериментов с использованием мельчайших количеств реагентов-образцов.

Микроструктура микроустройств, подобная чипу, позволяет обрабатывать, наблюдать и выращивать клетки и микроорганизмы по одной. В результате были выявлены различные биохимические свойства клеточных тканей.

Микроструктуры также используются для изучения свойств капель, образующихся при смешивании двух различных растворов (вода, масло и т. д.), и, как ожидается, будут применяться в биологии и других областях.

Принцип микроустройств

Микроустройства — это микроканалы или реакционные ячейки, созданные на чипе с использованием технологии микропроизводства, называемой MEMS.

MEMS означает микроэлектромеханическая система и применяется к технологии интеграции полупроводников. Различные структуры создаются с использованием таких методов, как травление, УФ-облучение и осаждение пленки. Кроме того, химические реакции и термическая обработка объединяются для повышения точности обработки. Эти технологии позволяют создавать тонкие структуры в масштабе от микрометра до субмикрометра на подложках.

В случае электронных устройств датчики, приводы и схемы интегрируются на кремниевых подложках. Это привело к разработке акселерометров для использования в автомобилях и зеркальных устройств для дисплеев. Микроустройства также появились из этих передовых технологий интеграции.

Создание путей потока может быть выполнено произвольно, и в зависимости от использования устройства может выполняться параллельная обработка на высокой скорости или последовательная обработка нескольких процессов, что делает его устройством, которое может применяться в различных академических исследованиях.