Что такое машина наноимпринтинга?

Что такое машина наноимпринта?

Машина наноимпринта — это устройство, которое выполняет наноимпринтинг для формирования сверхтонких схем.

В основном она используется для создания сверхтонких схем для полупроводников.

Применение машин наноимпринта

Машины наноимпринта используются для создания сверхтонких схем для полупроводников и других устройств. Машины наноимпринта позволяют легко производить мельчайшие схемы в больших количествах, что позволяет создавать микросхемы, что раньше было сложным и дорогим.

Помимо полупроводниковой области, наноимпринтинг также используется в таких областях, как биотехнология и дисплеи. Они также используются для целей исследований и разработок в университетах, научно-исследовательских институтах и ​​других научно-исследовательских учреждениях, а также для создания прототипов, соответствующих условиям и спецификациям производственных площадок.

Принцип работы машин для наноимпринтинга

Машина для наноимпринтинга — это устройство, реализующее технологию наноимпринтинга. Машина для наноимпринтинга состоит из подложки, покрытой стеклом или смолой, монтажной базы и формы со сверхтонким рисунком, установленной напротив монтажной базы.

Основными компонентами являются прессующий механизм, который прижимает форму к подложке, и механизм отверждения, который отверждает стекло или смолу. Другими словами, форма прижимается к расплавленному стеклу или смоле на подложке для переноса формы.

Стекло или смола, на которые была перенесена форма формы, затвердевают методом отверждения, образуя слой стекла или смолы с ультратонким рисунком на подложке. Кроме того, машины для наноимпринтинга, как правило, большие и занимают много места, но сейчас доступны машины для наноимпринтинга, которые достаточно компактны, чтобы их можно было носить с собой.

Другая информация о машинах для наноимпринтинга

1. Технология нанопечати

Технология нанопечати — это технология, которая переносит форму на стекло или смолу путем прессования формы с ультрамикрошаблоном, выгравированным методом микрообработки на стекле или смоле. Эта технология позволяет производить в короткие сроки серийно идентичные детали с ультрамикрошаблонами.

2. Различия в методах отверждения в зависимости от типа смолы

Для слоя смолы на подложке машин для наноимпринтинга используются два типа смол: «термопластичная смола» и «светоотверждаемая смола». Термопластичные смолы плавятся при нагревании до высокой температуры и снова отверждаются при охлаждении.

С другой стороны, «светоотверждаемые смолы» — это смолы, которые отверждаются под воздействием света, и типичными примерами являются смолы, отверждаемые УФ-излучением. Поэтому машины для наноимпринтинга можно использовать для отверждения либо охлаждением, либо воздействием света, например ультрафиолетового.

Некоторые машины для наноимпринтинга используют один или оба этих метода.

3. Метод подачи смолы

В машинах для наноимпринтинга большинство слоев смолы на подложке, подлежащей наноимпринтингу, формируются путем равномерного нанесения смолы на подложку. При использовании этого метода возникают опасения по поводу таких проблем, как сладкие края рисунка в зависимости от формы рисунка и скорости отверждения смолы при формировании рисунка.

Реализуется метод, который применяет технологию струйной печати для подачи смолы на подложку. То есть, используя технологию струйной печати, оптимальное количество расплавленной смолы выбрасывается и наносится только на область, соответствующую форме рисунка на подложке, чтобы сформировать слой смолы.

В это время определяется оптимальный объем подачи расплавленной смолы и вводится в оборудование с учетом соответствующего количества смолы для рисунка, скорости, с которой смола поступает в рисунок, скорости отверждения и других факторов.

4. Машины для нанопечати и литография

Среди оборудования для производства полупроводников оборудование, использующее литографию, хорошо подходит для создания сверхтонких рисунков. С помощью этого оборудования свет наносится в соответствии с рисунком на слой смолы, равномерно нанесенный на подложку. Другими словами, система отверждает только области, подвергшиеся воздействию света, чтобы создать рисунок, а рисунок завершается проявлением и удалением нежелательных областей.

В этом методе воздействие света осуществляется путем уменьшенной экспозиции проекции в соответствии с рисунком схемы. Эта уменьшенная экспозиция проекции контролируется системой линз, но проблема в том, что систему линз трудно контролировать, а оборудование имеет большие размеры.

Однако с помощью машин для наноимпринтинга форма со сверхтонким рисунком схемы прижимается к слою смолы и подвергается воздействию света одновременно, что устраняет необходимость в управлении системой линз. Это позволяет производить полупроводники со сверхтонкими рисунками схемы с помощью очень простой операции, и ожидания в отношении машин для наноимпринтинга растут.