Что такое компактный вакуумный насос?

Что такое компактный вакуумный насос?

Компактный вакуумный насос — это небольшой насос, который откачивает воздух из герметичного контейнера, создавая внутри него вакуум.

Компактные вакуумные насосы обычно способны откачивать воздух со скоростью около 200 л/мин и достигать давления от 0,1 Па до 10 Па. Они также используются в качестве форвакуумных насосов для получения среды с высоким вакуумом и часто используются в различных аналитических и научных приборах, которые могут работать в условиях низкого вакуума.

Существуют различные типы, такие как масляные роторные насосы, сухие насосы и мембранные насосы, которые можно выбрать в соответствии с принципом и условиями использования.

Применение компактных вакуумных насосов

Компактные вакуумные насосы используются в аналитическом и экспериментальном оборудовании, требующем вакуума около 0,1 Па или даже более высокой вакуумной среды. Например, компактные вакуумные насосы идеально подходят для электронных микроскопов, рентгеновского анализа, масс-спектрометров и газовой хроматографии, которым требуется вакуумная среда.

В производстве полупроводников вакуумная среда требуется для формирования тонких пленок путем распыления, вакуумного испарения или химического осаждения из паровой фазы (CVD). Компактные вакуумные насосы также используются в пищевой промышленности для вакуумной упаковки и вакуумной упаковки.

Принцип работы компактных вакуумных насосов

Компактные вакуумные насосы классифицируются в зависимости от метода откачки, диапазона давления и использования масла.

1. Метод откачки

Вакуумные насосы можно классифицировать по способу откачки на два типа: вакуумные насосы для транспортировки газа и вакуумные насосы для откачки газа. Газотранспортные вакуумные насосы транспортируют воздух со стороны всасывания на сторону выхлопа.

Газоаккумулирующий вакуумный насос накапливает воздух, который должен быть откачан, внутри насоса, а затем откачивает накопленный воздух с помощью другого вакуумного насоса.

2. Диапазон давления

Невозможно, чтобы один вакуумный насос охватил диапазон от атмосферного давления до высокого вакуума. Обычно для высокого вакуума в дополнение к основному насосу используется вспомогательный насос или форвакуумный насос.

3. Сухой/влажный

Существует два типа вакуумных насосов: сухие вакуумные насосы, которые не используют масло, и влажные вакуумные насосы, которые используют. Вакуумная область, создаваемая насосами, использующими масло, содержит масляный пар и водяной пар, вырабатываемый самим насосом.

Сухие вакуумные насосы особенно необходимы в процессе производства полупроводников, который требует точного управления. Сухие типы также используются в производстве пищевых продуктов и фармацевтических препаратов, где масло нежелательно.

Типы компактных вакуумных насосов

1. Ротационный вакуумный насос с масляным уплотнением

Среди различных типов вакуумных насосов наиболее часто используются роторные вакуумные насосы с масляным уплотнением с точки зрения рабочего объема, достигаемого давления и цены. Существует много типов этого типа, в зависимости от типа насоса, и они называются роторными типами.

Масло смазывает подшипники и улучшает уплотнение в цилиндре. Ротационные масляные роторные вакуумные насосы доступны в роторно-лопастном, кулачковом и качающемся поршневом типах. С помощью этих насосов можно легко получить средний вакуум 0,1 Па.

Роторно-лопастные масляные вакуумные насосы
Роторно-лопастной тип имеет лопасти, прикрепленные к ротору, встроенному во внутренний цилиндр. Газ в небольших камерах, разделенных лопастями, выпускается по мере вращения ротора, тем самым снижая давление.

Кулачковый масляный ротационный вакуумный насос
В кулачковом типе часть эксцентрикового ротора, установленная в центре цилиндрического статора, вращается в контакте со статором. Газ в пространстве между статором и ротором выпускается для снижения давления.

Масляный ротационный вакуумный насос с качающимся поршнем
В качающемся поршневом типе вращение эксцентрикового ротора заставляет поршень двигаться вверх и вниз. Воздух внутри цилиндра сжимается и выпускается поршнем для снижения давления.

2. Сухой насос

Сухие насосы — это бесконтактные, чистые вакуумные насосы, которые не используют масло или жидкости. Существует множество типов в зависимости от типа насоса.

Сухой вакуумный насос типа Рутса
Этот насос использует ротор типа Рутса. Им не требуется охлаждающая вода, и они очень удобны.

Сухой вакуумный насос спирального типа
Спираль вращается, создавая вакуум путем сжатия и выпуска воздуха снаружи внутрь. Он компактен и обладает преимуществами высокого вакуума, низкой вибрации, низкого уровня шума и энергосбережения.

Сухой вакуумный насос кулачкового типа
Вакуум создается двумя роторами в форме когтей, вращающимися в противоположных направлениях.

Сухой вакуумный насос мембранного типа
Поршень, называемый валом насоса, движется вперед и назад, чтобы поднимать и опускать диафрагму, которая всасывает и выпускает воздух.

Другие
Также доступны вращающиеся лопастные и качающиеся поршневые насосы. Эти вакуумные насосы по своей конструкции похожи на масляные роторные насосы.