Что такое этап позиционирования?

Что такое позиционирующий столик?

Позиционирующие столики — это устройства, предназначенные для точного позиционирования в различных приложениях, в частности, в производстве полупроводников и дисплеев. Эти платформы способны перемещаться с высокой точностью благодаря интеграции двигателей и шариковых винтов. Их универсальность позволяет перемещаться в нескольких измерениях, например, столики XY, которые свободно перемещаются в двухмерных пространствах.

Применения

Используемые в областях точной обработки, позиционирующие этапы облегчают задачи в производстве полупроводников, проверке дисплеев и т. д. Они имеют решающее значение для точного позиционирования пластин, подложек и для выравнивания камеры и волоконной оптики, среди прочего.

Принцип работы

Состоящие из привода, блока управления, подвижного этапа и направляющих, позиционирующие этапы работают, управляя сигналами на привод. Они используют различные методы управления для точного позиционирования этапа, придерживаясь принципа Аббе для минимизации ошибок измерения.

Виды позиционирующих этапов

Позиционирующие ступени варьируются от одноосных до сложных трехосных типов, с доступными поворотными и комбинированными вариантами. Выбор зависит от конкретных требований к перемещению и точности приложения.

• Одно- или трехосные: от простого однонаправленного перемещения до сложного трехмерного позиционирования.
• Поворотные и комбинированные: обеспечивают вращательное перемещение и комбинации линейных и вращательных осей для всесторонних возможностей перемещения.

Подробности конструкции

Ключевые компоненты включают шариковые винты для снижения трения и линейные направляющие для поддержки ступени, обеспечивая точное и плавное перемещение. Устройства управления варьируются от разомкнутого контура до полностью замкнутого управления, адаптируя работу ступени к конкретным приложениям.

Дополнительные сведения

Различие между прерывистыми и непрерывными методами позиционирования позволяет использовать стратегии перемещения, специфичные для приложения. Приводные механизмы в основном включают роторные и линейные двигатели, каждый из которых обладает уникальными преимуществами с точки зрения скорости, точности и простоты конструкции.