Что такое центробежная установка?

Что такое центробежный коутер?

Центробежный коутер — это устройство, используемое для нанесения краски на поверхность подложки. После того, как капля краски нанесена на центр подложки, подложка вращается, контролируя ускорение и скорость вращения, чтобы создать пленку равномерной толщины с помощью центробежной силы.

Хотя есть некоторые недостатки, такие как тот факт, что его можно использовать только на гладких базовых материалах и он не подходит для покрытия больших площадей, он может формировать различные тонкие пленки с минимальной погрешностью толщины. Это оборудование используется для производства полупроводников и дисплеев, покрытия оптических носителей и т. д.

Применение центробежных коутеров

Центробежные коутеры могут использоваться для производства тонких пленок равномерной толщины на гладких подложках.

Центрифугирование используется в области фотолитографии. Фотолитография — это технология, которая создает тонкие узоры на поверхности подложки, например, кремниевой, путем нанесения на подложку светочувствительного агента и последующего облучения ее интенсивным светом, например, ультрафиолетовым. Эта технология незаменима для производства полупроводников и дисплеев.

Она также широко используется для покрытия поверхности оптических носителей, таких как DVD и Blu-ray Discs, и для нанесения светозатухающих растворов на линзы.

Принципы работы Spin Coaters

Spin Coater — это система нанесения покрытия, которая использует центробежную силу, создаваемую вращением, для нанесения покрытия на поверхность подложки. Также известна как spinner. Это метод нанесения покрытия, подходящий для получения тонких пленок на плоских подложках, и характеризуется равномерной равномерностью толщины пленки.

Сначала подложка устанавливается в центрифужную машину, и капля материала покрытия наносится вблизи центра подложки. Затем подложка вращается, чтобы приложить центробежную силу к краске и отрегулировать ее так, чтобы краска диффузно наносилась на поверхность подложки. Скорость вращения и ускорение могут быть установлены оборудованием и должны определяться с учетом жидких свойств краски и толщины пленки. После завершения вращения подложка извлекается из центрифужной машины, а покрытие сушится путем нагрева или УФ-отверждения. С помощью этой серии операций на подложке может быть получена однородная тонкая пленка.

Преимущества тонкопленочного покрытия с помощью центрифугирующего устройства включают возможность формирования тонких пленок различной толщины путем точной установки жидкой природы покрытия, числа оборотов и других параметров, а также возможность использования меньшего количества материала покрытия. С другой стороны, недостатки включают потерю краски во время покрытия и ограничение покрытия небольшой площадью.

Как использовать центрифугирующие устройства

Центрифугирование используется для создания тонкой пленки из соединения. Здесь мы объясним, как его использовать.

1. Основание в центре центрифугирования является вращающимся элементом. Стеклянная или металлическая подложка устанавливается на этот ротор. Способ фиксации подложки к вращающемуся телу заключается в том, чтобы потянуть вакуум, чтобы закрепить подложку на пьедестале. Если вакуум нежелателен, используйте двусторонний скотч или другую клейкую ленту, но обязательно используйте высококлейкую ленту.
2. Вылейте раствор полимера или другого соединения на подложку. Вылейте раствор равномерно, чтобы покрыть всю подложку как можно больше.
3. Установите скорость вращения и время вращения, нажмите кнопку запуска. Когда время истечет, вращение прекратится, и на подложке образуется равномерная тонкая пленка.

Кстати, для создания такой же тонкой пленки существует система вакуумного испарения. Однако полимеры и другие материалы могут разлагаться в вакууме, поэтому в этом случае подойдет центрифуга.

Другая информация о центрифугах

1. Устранение неровностей покрытия с помощью центрифугирования

Центрифугирование обеспечивает равномерную тонкую пленку, но бывают случаи, когда в покрытии возникает неровность, приводящая к невидимым неровностям. Ниже приведены некоторые условия, которые могут вызвать неровности покрытия.

• Низкая скорость вращения (меньше оборотов с течением времени)
• Высокая вязкость раствора соединения
• Наблюдается скопление раствора в углах подложки

Во-первых, проблема заключается в скорости вращения. В базовых центрифугах, чем медленнее скорость вращения, тем толще и неоднороднее, скорее всего, будет пленка. Самое простое решение — увеличить скорость вращения и увеличить время вращения. Если у вас есть время, зафиксируйте время вращения и измерьте толщину пленки при каждой скорости вращения. Лучшее решение — найти оптимальную скорость вращения и время.

Если вязкость раствора соединения высокая, его будет трудно равномерно распределить, что приведет к образованию неоднородной пленки. Один из способов решения этой проблемы — разбавить концентрацию раствора, чтобы снизить вязкость.

Чтобы решить проблему неоднородности в углах подложки, лучше всего использовать центрифуга закрытого типа с функцией автоматической подачи капли. Функция автоматической подачи капли автоматически дозирует раствор соединения на вращающуюся подложку. Раствор быстро распределяется по подложке, как только он дозируется, предотвращая подъем углов и обеспечивая образование однородной тонкой пленки.